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単原子分子は、1つの原子からなる分子のことです。
代表的な例としてはナ!さんのおっしゃる通り
希ガスの単体が挙げられます。
ただ、それだけではなく、この他にもアルカリ金属や水銀、ヨウ素などの気体は原子間の結合が比較的弱いため、高温で解離して単原子分子となります。

また、ハロゲンや酸素の分子に対して紫外線を照射すると結合の解離が起こり単原子分子となります。
これらはラジカルであるため、反応性が高く圧力が高い、すなわち他の分子が周囲に多く存在する場合にはそれらとすぐに結びついて単原子分子ではなくなってしまいます。しかし、圧力が極端に低い周囲に他の分子が存在しない状態ではそのまま安定に存在する。 そのため、地球の大気の上層部や宇宙空間では窒素や酸素も単原子分子として存在しています。

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