目前半導體工業常將少量的砷(As,
子量為74.9), Ma原了昌放
28.1),以提高導電度,製造出N型半導
體晶片。若1000000個矽原子中滲雜1
個砷原子,則稱滲雜砷原子與矽原子的
比例為1ppm。根據計算滲雜砷原子與
矽原子的比例只要0.2ppm,導電載體
增加了約3x105倍, 可大幅的改善導電
度。根據上面的定義,滲雜原子比例
0.2ppm的意義是:
。 1000000 cm3矽原子中摻雜
0.2 cm3砷原子。
1公斤矽原子中摻雜0.2毫克
砷原子。
1000000克矽原子中摻雜
0.2克砷原子。
1000000個矽原子中摻雜2
個砷原子。
【 圖
